НИИ НПО «ЛУЧ» совместно с «Гиредмет» по заказу Минпромторга РФ разработали собственную технологию выпуска высокочистого красного фосфора и оксихлорида фосфора, готовую к серийному производству
Предприятия Научного дивизиона Госкорпорации «Росатом» (АО «Росатом Наука»), АО «НИИ НПО «ЛУЧ» и АО «Гиредмет» в рамках программы Минпромторга России «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года» выполнили приоритетные работы по созданию собственного производства особо чистых красного фосфора и оксихлорида фосфора. Эти вещества критически важны для производства компонентов (чипов, транзисторов, диодов, интегральных схем) на фабриках микроэлектроники.
«Ранее Россия импортировала более 80% материалов из порядка 2.5 тысяч, которые нужны для выпуска чипов, в том числе красный фосфор и оксихлорид фосфора. Современные требования к содержанию основного вещества красного фосфора для ионной имплантации – 99.9999%. Производство красного фосфора такой чистоты организуется в России впервые», — отметил директор по научным государственным программам АО «Росатом Наука» Иван Мазилин.
Реализация проекта заняла около двух с половиной лет. Весь комплект технологической документации подготовили специалисты Гиредмета, а участок с технологической линией организовали на площадке НИИ НПО «ЛУЧ» в Подольске, запустив линию в 2025 году. Соединения фосфора вредны для человека, поэтому техпроцесс максимально автоматизировали. В качестве сырья атомщики используют технический красный фосфор, из него получают трихлорид фосфора, подвергают многоступенчатой очистке и переводят в следующие продукты: оксихлорид фосфора, триметилфосфат и высокочистый красный фосфор. Товарный особо чистый красный фосфор — это гранулированный сыпучий материал, а чистый оксихлорид фосфора и триметилфосфат получается в жидкой форме.
Приёмка госконтракта подтвердила качество продукции как соответствующее высокой степени чистоты: специалисты «Росатома» доказали возможность выпускать востребованную продукцию для удовлетворения спроса на отечественном рынке микроэлектроники. В настоящее время в Научном дивизионе ожидают получения сертификата СТ-1 и готовят заявку на включение веществ в реестр отечественной промышленной продукции. В дальнейшем, например, особо чистый оксихлорид фосфора может быть использован в химическом синтезе, при производстве солнечных панелей, а также при производстве оптического волокна.
Кроме того, одним из важных результатов выполненной работы является создание в Научном дивизионе «Росатома» центра компетенций по продуктам на основе особо чистого фосфора, способного как к решению новых научно-технических задач, так и к поставкам разработанной продукции.