Инжиниринговый химико-технологический центр совместно с Национальным исследовательским Томским государственным университетом завершил разработку и создание установки для производства высокочистого бромида водорода (HBr) чистотой 5N. Первые 100 кг российского бромида водорода высокой чистоты для микроэлектроники будут поставлены на российские предприятия в первом полугодии 2026 года.

Технологическая линия для производства высокочистого бромида водорода. (Фото: ИХТЦ).

Проект выполнен по заказу министерства промышленности и торговли Российской Федерации. Установка с годовой производительностью до 650 кг конечного продукта размещена в Томске на опытно-промышленной площадке ИХТЦ при ТГУ и готова к запуску. Общий объем финансирования проекта составил 260,5 млн рублей. ИХТЦ – единственный в России производитель этого стратегически важного вещества.

Ключевые предприятия-потребители подтвердили планы по переходу с импортного HBr, в первую очередь, китайского производства, на российское сырье с 2026 года. Ведутся переговоры по заключению рамочных договоров. Уже подтвержден заказ на первые 100 кг продукции в первом полугодии 2026 года.

В микроэлектронике сверхчистый бромистый водород (HBr) применяется главным образом как технологический газ для плазмохимического (RIE/ICP) травления кремния, поликремния и родственных материалов, обеспечивая высокую анизотропию и точное формирование субмикронных структур. Высокая чистота HBr критична для снижения дефектности и предотвращения паразитного загрязнения, что повышает выход годных при производстве современных интегральных схем, включая современные микросхемы, в том числе для банковских и транспортных карт.

Инжиниринговый химико-технологический центр — один из разработчиков Стратегии развития химической промышленности в России до 2042 года. При этом Томский государственный университет является оператором Центра подготовки кадров для химической отрасли РФ, созданного в рамках федерального проекта «Опережающая подготовка и переподготовка квалифицированных кадров по направлению новых материалов и химии» (нацпроект «Новые материалы и химия»).